UV-Laser und Präzisionsoptik für die Halbleitertechnik

Typische Aufgaben

In Inspektion und Messtechnik zählen kurze Wellenlängen, stabile Leistung und eine saubere Integration in die Anlage. Wir verbinden Laserquelle, UV-Konversion und Steuerung zu einer abgestimmten Lösung.

• Defektinspektion und Messung auf Wafern und Masken
• UV-Quellen für Mess- und Prüfsysteme
• Präzisionsbearbeitung mit kurzen Pulsen
• Schaltschränke und Steuerungen für Anlagen und Prüfstände

Passende Produktgruppen

Kontinuierliche und gepulste Hochleistungs-UV-Laser sowie Ultrakurzpuls-Systeme von Precilasers, nichtlineare Kristalle für die UV-Konversion von Raicol und Steuerungssysteme von EIC.

So unterstützen wir Sie

Für Anlagenbauer und Fertigungen klären wir Spezifikation, Integration und Dokumentation, bevor Sie bestellen. Bei wiederkehrendem Bedarf stimmen wir die Liefertermine frühzeitig mit dem Hersteller ab.

Für ein schnelles Angebot

Nennen Sie uns möglichst:

• UV-Wellenlänge, Leistung und Betriebsart (CW oder gepulst)
• Pulsdauer und Repetitionsrate bei gepulsten Quellen
• Integration: Schnittstellen, Kühlung, Bauraum
• Stückzahl bzw. Jahresbedarf und Lieferort